Fundamentals of Scanning Electron Microscopy

จุลทรรศนศาสตร์อิเล็กตรอนส่องกราดพื้นฐาน

3(3-0-6)

วิชาบังคับก่อน :  ENG31 2102 โลหการกายภาพ

ทัศนศาสตร์เบื้องต้นในกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด ปริมาตรอันตรกิริยา หลักการเกิดภาพและสัญญาณ เทคนิคการปรับภาพ การวิเคราะห์องค์ประกอบเคมีเชิงคุณภาพ, เชิงปริมาณและการทำแผนที่ธาตุด้วยการวัดรังสีเอกซ์แบบกระจายพลังงานในกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด จุลทรรศนศาสตร์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดขั้นสูง ภาพความเปรียบต่างอิเล็กตรอนแชนเนลลิง การวิเคราะห์การเลี้ยวเบนของอิเล็กตรอนกระเจิงกลับเพื่อสร้างภาพแสดงทิศทางโครงสร้างผลึกในโลหะ การใช้เทคนิคโฟกัสไอออนบีม

ผลลัพธ์การเรียนรู้ที่คาดหวังระดับรายวิชา

1. อธิบายหลักการทำงานพื้นฐานของของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด
2. แปลผลข้อมูลที่ได้จากกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดโดยประยุกต์ใช้ความรู้พื้นฐานทางวิศวกรรมโลหการ

 

Fundamentals of Scanning Electron Microscopy

3(3-0-6)

Prerequisite : ENG31 2102 Physical Metallurgy

Introduction to electron optics; Interaction volume; Signal and image formation; Techniques for image optimization; Chemical analysis via energy dispersive x-ray spectroscopy: qualitative and quantitative analysis, mapping; Advanced SEM techniques: ECCI (Electron Channeling Contrast Image), EBSD (Electron Backscatter Differentiation for imaging crystallographic orientations in metals), FIB (Focus Ion Beam)

Course Learning Outcomes (CLOs)

1. Explain the working principle of scanning electron microscope
2. Interpret the obtained data from scanning electron microscope by applying the fundamental metallurgical engineering knowledge